VPE制备n+/p-Si，结果pn结进入了衬底，这是什么原因造成的：A:自掺杂效应 B:互扩散效应 C:衬底表面没清洗干净的缘故。 D:掺杂气体不纯答案: 互扩散效应

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VPE制备n+/p-Si，结果pn结进入了衬底，这是什么原因造成的：A:自掺杂效应 B:互扩散效应 C:衬底表面没清洗干净的缘故。 D:掺杂气体不纯 答案: 互扩散效应